设备和材料评估平台

研发中心致力于為(wèi)國(guó)内外的半导體(tǐ)材料和设备厂商(shāng)提供一个与生产線(xiàn)环境完全一致的新(xīn)材料和设备演示验证平台，有(yǒu)效促进半导體(tǐ)制造产业链的整體(tǐ)发展。研发中心具备12英寸制程所需的设备和材料评估公共平台，并拥有(yǒu)一套符合大生产要求的研发、测试和验证服務(wù)體(tǐ)系，可(kě)為(wèi)國(guó)内外半导體(tǐ)材料和设备厂商(shāng)提供良好的中试环境和相关的评估验证服務(wù)，有(yǒu)效推进其产品在大生产線(xiàn)上的工程化应用(yòng)。目前已与一批國(guó)际著名设备和材料厂商(shāng)以及國(guó)内设备及新(xīn)材料开发单位建立了紧密的合作关系，已為(wèi)多(duō)家國(guó)内设备和材料厂商(shāng)提供了验证评估服務(wù)，推进了集成電(diàn)路材料设备产业的发展。